空气尘埃粒子计数器是洁净室洁净度检测的核心工具，通过精准测量空气中悬浮粒子的数量和粒径分布，为洁净室分级、运行监控及合规性验证提供关键数据。以下是其技术原理、应用要点及操作规范的详细解析：
一、空气尘埃粒子计数器技术原理与分类
1.光散射原理（主流技术）
原理：粒子通过激光束时发生散射，散射光强度与粒子粒径成正比。光电探测器接收散射光并转换为电信号，经算法处理后输出粒子数量及粒径分布。
优势：实时检测、非接触式测量、灵敏度高。
代表仪器：激光尘埃粒子计数器。
2.其他技术
显微镜法：通过滤膜采集粒子后显微镜观察，适用于粒径＞5μm的粗颗粒分析，但耗时长、无法实时监测。
称重法：测量滤膜采集前后的质量差，仅能反映总颗粒物质量，无法区分粒径分布。
二、空气尘埃粒子计数器操作规范与流程
1.仪器校准
零点校准：使用高效过滤器（HEPA）过滤后的洁净空气进行零点修正。
流量校准：用流量计验证采样流量，误差需≤±5%。
粒径校准：使用标准粒子（如PSL小球）验证各粒径通道的检测准确性。
2.采样步骤
环境准备：关闭门窗、空调系统运行30分钟后开始检测。
采样时间：每个点采样时间≥1分钟，或采样体积≥2.83L。
避免交叉污染：采样管路需灭菌处理，采样头避免触碰物体表面。
3.数据处理
累计浓度计算：将各粒径通道的粒子数转换为每立方米的浓度。
分级判定：对比ISO14644-1标准中对应级别的限值。
超标处理：若某点超标，需扩大采样范围并排查污染源（如设备泄漏、人员操作）。
三、空气尘埃粒子计数器应用场景与行业价值
1.半导体制造
检测晶圆加工车间空气中的微粒，防止颗粒污染导致电路短路或良率下降。
典型要求：ISO3-4级。
2.制药与生物技术
监控无菌制剂生产环境的洁净度，确保符合GMP规范。
动态监测：在生产过程中实时检测，及时发现气流异常或人员污染。
3.医疗设备生产
检测手术器械、植入物生产车间的空气洁净度，防止微生物附着或颗粒污染。
结合微生物采样：同步进行浮游菌检测，综合评估环境风险。
4.航空航天与精密制造
检测光学元件、精密轴承生产环境的洁净度，避免颗粒划伤表面或影响装配精度。
特殊要求：需检测超细颗粒及油性颗粒。
更新时间：2026-01-20
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